環(huán)球觀焦點(diǎn):上海新陽(yáng):ArF類光刻膠樣品目前在國(guó)內(nèi)晶圓制造企業(yè)驗(yàn)證中

時(shí)間:2023-01-28 17:31:18 來(lái)源:互聯(lián)網(wǎng)


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【上海新陽(yáng):ArF類光刻膠樣品目前在國(guó)內(nèi)晶圓制造企業(yè)驗(yàn)證中】上海新陽(yáng)在互動(dòng)平臺(tái)表示,公司KrF光刻膠已批量化生產(chǎn)銷售,ArF類光刻膠樣品目前在國(guó)內(nèi)晶圓制造企業(yè)驗(yàn)證中,EUV光刻膠尚在開(kāi)發(fā)階段。

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